產品說明：
不銹鋼高純減壓器
40. U21SL系列小流量減壓器
42. U22SL系列中流量減壓器
44. U23SL系列中流量減壓器
46. U53SL系列超高純減壓器
結構特點 Features
h 316L 不銹鋼母體
h 膜片式硬密封，泄漏率低
h 可采用面板安裝和后座安裝
h 壓力表標準連接： 1/4” FSR(M) 
 可選：1/4” FSR (F)
h 內部電解拋光
h 高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導體產業
h 使用壽命長
h 100% 氦氣測試
材質 Materials
h 母體：316L
h 閥座：PCTFE*，Vespel?
h 膜片：316L
h 上蓋：316
功能特性 Functional Performance
h 流量：Cv=0.14
h 母體泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
h 閥座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
h 設計驗證壓力：*大額定壓力的 150% 
h 設計爆破壓力：*大額定壓力的 400%
工作條件 Operating Conditions
h *大的入口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar) 
h 出口壓力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar), 
 0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar), 
 0-500 psi (35 bar)
h 溫度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)
流道表面 Surface Finish
h 標準：Ra 20μin
h 可選：Ra 10μin
內部容積 Internal Volume
h 4.6 cc
訂購指南 Ordering Information
內部結構 Internal Structure 安裝尺寸圖 Dimensions (mm)
41.
U21
前面板安裝
（*大厚度7.1mm）
94 mm（1/4” 面密封接頭） 后支架安裝
94 mm（1/4” 對焊接管）
Ex: U21 SL B K - D F P - 91 - 92 - P
系列號 
Series
母體
材料 
Body
母體孔 
Body 
Ports
閥座
材料 
Seat
輸入壓力 
Inlet 
Pressure
輸出壓力 
Outlet 
Pressure
壓力表 
Gauge
進氣/出氣形式 
Inlet / Outle
Connection
選項 
Options
U21 SL: 316L A
B
G
J
M
K: PCTFE
V: Vespel? 
D: 3000 psi 
F: 500 psi 
F: 0~500 psi
G: 0~250 psi 
I: 0~100 psi 
K: 0~50 psi 
L: 0~25 psi
W: 不帶壓力表 
P: psi / bar 表
90: 1/4” FSR(F)
91: 1/4” FSR(F) 旋轉螺帽
92: 1/4” FSR(M) 旋轉螺帽
41: 1/4” 對焊接管
E: Ra 10 μin
P: 面板安裝
H: Hastelloy? 膜片
銷售 -801 徐經理